ローツェ 株式会社
半導体・FPDパネル製造用搬送装置開発・製造・販売
ライフサイエンス関連装置開発・製造・販売
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事業所所在地 |
〒720-2104 広島県福山市神辺町道上1588-2 |
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電話番号 |
電話：（084）960-0001 ファクス：（084）960-0200 |
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本社所在地 |
〒720-2104 広島県福山市神辺町道上1588-2 |
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ホームページ URL |
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製品・技術 |
局所パージ技術を応用したスマートパージシステム |
半導体業界支え世界トップクラス！！
（初期のベストセラー機）
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製品・技術の特徴 |
搬送中のウエハ周囲だけを少量のN2ガス（窒素ガス）で覆う「局所パージ技術」により，少ないN2ガス消費でウエハを不要な酸化膜形成から保護することができる。 |
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開発のきっかけ |
半導体製品の高機能化はウエハに作りこむ電子回路の超微細化をもたらし，大気中の酸素が形成する不要な酸化膜が性能・生産歩留まりに影響するようになった。 |
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開発・製品化における |
従来のように装置全体を不活性ガスで満たす方法とは違い，ウエハの周囲だけを不活性ガスで満たす場合では，均一な不活性ガス雰囲気を作ることが難しかった。均一な不活性ガス雰囲気を得るため，噴出ノズルの形状やカバー形状のシミュレーションを行い，それに基づく施策と実験を繰り返した。 |
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製品・技術の主な取引先 |
国内外の半導体デバイスメーカー・半導体製造装置メーカー，ガラス基板・FPDパネルメーカーなど |
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特記事項 |
世界の半導体工場・FPDパネル工場の自動化と無塵化を担う。 |
