生産技術アカデミー／評価部門設備／全焦点三次元測定装置

機能
　Ｚ軸を走査しながら取得した画像データから焦点が合った像を合成し（焦点移動法），ＸＹ方向に繰り返して小型～中型部品の３次元形状を非接触測定します。ISO25178（JIS B0681）に準拠した３次元表面解析も可能です。

メーカ
　ブルカー・アリコナ

形式
　インフィニートフォーカス G5 XL200 with Real 3D G2

設備利用料金
　3,000円（１時間）〔職員が代行操作する場合は別途3,900円（１時間）必要〕

仕様
測定方式	焦点移動法
テーブル稼働範囲（ＸＹ）	200mm×200mm
測定物最大高さ	130mm
測定物最大質量	30kg
回転ユニットクランプ直径	φ0.5mm～φ16mm
測定精度	高さ測定：0.8μm（高さ10mm）幅測定　：1.0μm（幅10mm）
対物レンズ：５種類（＊リングライト照明時は最大測定走査高さ23.5mm）
倍率	５×	10×	20×	50×	100×
最大測定走査高さ（ｍｍ）	22.5	36＊	29＊	10	４
ＸＹ視野範囲（ｍｍ）	2.82	1.62	0.7	0.32	0.16
最小水平分解能（μｍ）	3.51	1.76	1.17	0.64	0.44
最小垂直分解能（μｍ）	0.41	0.25	0.08	0.02	0.01

外観

**測定例**
エンドミル（全周測定）	プレート	樹脂表面の傷

大きさ　：直径８mm×長さ20mm 測定時間：1.8時間レンズ　：５×	大きさ　：100mm×70mm×２mm 測定時間：2.1時間レンズ　：５×	測定範囲：2.82mm×2.82mm 測定時間：9.4秒レンズ　：５×

防災緊急情報