生産技術アカデミー／評価部門設備／非接触三次元測定機
印刷用ページを表示する掲載日2023年4月4日
機能
非接触方式で各種製品の３次元形状の精密測定を行います。
メーカ
三鷹光器（株）
形式
NH-3 （1998年度導入）
設備利用料金
1,600円（１時間） 〔職員が代行操作する場合は別途3,900円（１時間）必要〕
仕様
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測定ステージ |
XYZ測定範囲 |
150 × 150 × 68 mm |
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載物台寸法 |
254 × 240 mm | |
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測定物最大高さ |
78 mm | |
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測定物最大重量 |
6 kg | |
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最小送り |
0.1 μm/step | |
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送り再現性 |
±1 μm以内 | |
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測定精度 |
XY |
±(1+15L/1,000) μｍ （L: 測定長 mm） |
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Z |
±1 μｍ | |
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オートフォーカス測定範囲 |
8 mm | |
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分解能 |
0.01 μｍ | |
外観
測定例
