ひろしま産学共同研究拠点／光電子分光装置（ESCA）
印刷用ページを表示する掲載日2024年5月17日
機能
材料の表面分析やスパッタイオン銃による深さ方向の定性定量分析等が可能です。
磁気的なレンズの採用により光電子の取込み効率が大幅にアップし、感度の向上、測定時間の短縮が図れます。
メーカ
サーモフィッシャーサイエンティフィック社
形式
ESCA LAB220i-XL
仕様
| 型式 | ESCA LAB220i-XL |
|---|---|
| 微小領域感度 | 400cps（空間分解能20μm：エネルギー分解能≦0.50eV） |
| イメージ測定方式 | ダイレクトリアルタイム方式（投影方式） |
| 測定可能な試料 | 10mm×10mm、厚さ3mm以内 |
| サンプルステージ | モノクロメータ、XLレンズ、イオン銃、帯電中和銃 |
外観
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| Arエッチングにより深さ方向の化学結合状態の変化を調べることができます。 | Arエッチングによる深さ方向分析により、積層膜の組成変化を知ることができます。 |