走査型電子顕微鏡
印刷用ページを表示する掲載日2024年6月3日
概要
電子線により対象物を拡大し、数mm～nmレベルの形状観察を行う装置です。X線分析装置が付属しているので、定性的な元素分析が可能で、かつ、低真空モードも搭載されているので、絶縁物も容易に観察することができます。
金属製品、素材の高機能化のための表面観察・成分分析、プラスチック、機能性繊維などの高機能化のための表面観察・成分分析、部材表面に付着した異物の分析など(電気電子製品、機械部品製品)に用いられます。
なお、前処理装置として、クロスセクションポリッシャ（断面作製）や蒸着装置もあります。
金属製品、素材の高機能化のための表面観察・成分分析、プラスチック、機能性繊維などの高機能化のための表面観察・成分分析、部材表面に付着した異物の分析など(電気電子製品、機械部品製品)に用いられます。
なお、前処理装置として、クロスセクションポリッシャ（断面作製）や蒸着装置もあります。
形式（製造所名）
JSM-6010LA（日本電子株式会社）
仕様・構成
分解能：高真空モード（4nm：20kV）、低真空モード（5.0nm：20kV）
分析可能元素：4Be～92U
倍率：5倍 ～300,000倍
画像モード：組成像、凹凸像、立体像
加速電圧：0.5 kV ～ 20 kV（43段）
フィラメント：プリセンタードヘアピン型タングステン
試料寸法：φ120 mm×高さ40mm以内
その他機能：自動フォーカス、自動非点収差調整、自動色調調整
分析可能元素：4Be～92U
倍率：5倍 ～300,000倍
画像モード：組成像、凹凸像、立体像
加速電圧：0.5 kV ～ 20 kV（43段）
フィラメント：プリセンタードヘアピン型タングステン
試料寸法：φ120 mm×高さ40mm以内
その他機能：自動フォーカス、自動非点収差調整、自動色調調整