FE式走査型電子顕微鏡
印刷用ページを表示する掲載日2024年6月3日
概要
電子線を用いて測定対象物を拡大し、数ｍｍ～ナノレベルの形状観察を行えます。また、X線分析装置を用いることで、定性的な元素分析が可能です。
電界放出（ＦＥ）型のため、汎用機と比べて、より高解像度の画像を容易に得ることができます。また、反射電子像も観察することが可能で、様々な試料状態を観察することができます。金属材料や樹脂材料などの形状観察だけでなく、組成観察等にも利用できます。
電界放出（ＦＥ）型のため、汎用機と比べて、より高解像度の画像を容易に得ることができます。また、反射電子像も観察することが可能で、様々な試料状態を観察することができます。金属材料や樹脂材料などの形状観察だけでなく、組成観察等にも利用できます。
形式（製造所名）
JSM-7200F（日本電子株式会社）
（インレンズ・ショットキー電界放出電子銃）
（インレンズ・ショットキー電界放出電子銃）
仕様・構成
倍率：×10～×1,000,000
加速電圧：0.01～30 kV
最大試料寸法：φ100mm×40mm（ｔ）以内
分析可能元素：4Be～92U
検出器：UED、LED、 RBED（2次電子像、反射電子像、合成像）
その他機能：GB機能、Through The Lens機能、長焦点深度機能、自動フォーカス、自動非点収差調整、自動色調調整
加速電圧：0.01～30 kV
最大試料寸法：φ100mm×40mm（ｔ）以内
分析可能元素：4Be～92U
検出器：UED、LED、 RBED（2次電子像、反射電子像、合成像）
その他機能：GB機能、Through The Lens機能、長焦点深度機能、自動フォーカス、自動非点収差調整、自動色調調整